等離子鍵合可以用于微流控芯片制造。為了將PDMS芯片永久地粘合到載玻片上,研究人員使用等子清洗機來改變玻璃和PDMS的表面特性。等離子體處理將改變表面化學(xué)特性并允許PDMS與通道粘在其他基板( PDMS或玻璃)上。